Высокоразрешающая телецентрическая F-тета сканирующая линза для УФ-лазерной микрообработки и применения в полупроводниковой промышленности.

Телецентрическая F-тета сканирующая линза из плавленого кварца

Телецентрическая F-тета сканирующая линза — это особый тип линзовой системы, в которой отклоненный внеосевой лазерный луч может быть сфокусирован перпендикулярно на обрабатываемую деталь, подобно фокусирующемуся в осевом направлении лучу. Преимущество телецентрической сканирующей линзы заключается в том, что она способна сгладить кривизну поля до минимальных искажений, обеспечивая при этом превосходное качество пятна по всему полю сканирования. Для мощных лазеров и сверхбыстрых лазерных источников мы предлагаем телецентрические F-тета сканирующие линзы серии TSL-Q, позволяющие минимизировать тепловое линзирование и смещение фокуса.

• Номер детали: TSL-355-50-103Q
• EFL (мм): 103,0
• Поле сканирования (мм): 50×50
• Входной луч Φ (1/e²) (мм): 9,0
• Резьба: M85x1
• ШД (мм): 137,4
• Диаметр окна × толщина (мм): 80 × 2